光刻膠、電鍍液過濾用的PFG/ECTFE折疊濾芯

EC系列半氟濾芯采用PVDF外殼及支撐層，ECTFE熔噴布為過濾層，其深層過濾特點極大延長過濾壽命，特別適用于腐蝕性，氧化性和高溫條件下高固含量試劑的過濾。

主要特點 Key Features

1. 廣泛的化學兼容性

2. 高孔隙率的高流速，具有極高使用壽命

3. 高截留效率

4. 可提供多種規格尺寸

典型應用 Typical Applications

1. 半導體微電子行業的強腐蝕性酸、堿、光刻膠、電鍍液、混合酸和氣體等過濾;

2. 醫藥中間體/化工行業的各種腐蝕性化學試劑和氣體的預過濾和精過濾等;

3. 食品飲料行業中臭氧和強氧化性氣體和液體等過濾。

工作條件 Operating Conditions

1. 最高工作溫度:0.9Mpa@120°C

2. 最大正壓差:0.52Mpa@25°C

3. 最大反壓差:0.30Mpa@25°C

材料結構Material Construction

1. 過濾介質:ECTFE

2. 支撐材料:PFA/PTFE:PVDF/ECTFE

3. 濾芯骨架:PFA，PVDF密封圈:見訂購信息表

4. 密閉方式:熱熔合

5. 金屬溶出:<25ug/10"，總溶出物≤15mg/10"

6. 顆粒脫落:<15個/10 ml (≥0.2 um @5L/min DI 水)

7. TOC恢復:<10 ppb沖洗后(120L@1L/min)

主要性能參數 Key Specifications

1. 過濾精度:5.0、10、20、25(um

2. 濾芯直徑外徑:68mm

3. 過濾面積 ≥0.6m2/10"